熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是用于測量和控制氣體質(zhì)量流量的儀表，區(qū)別于其它氣體流量計(jì)，不需要進(jìn)行壓力和溫度修正，直接測量氣體的質(zhì)量流量。

可應(yīng)用于：

    半導(dǎo)體制造行業(yè)；

    分析儀器設(shè)備行業(yè)；

    各種形式的真空鍍膜設(shè)備；

    環(huán)境檢測與分析設(shè)備；

    化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)；

    特種材料表面處理裝置與燃燒；

    混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。

氣體質(zhì)量流量計(jì)選型的時(shí)候需要注意一下幾方面問題：

  1.通過的介質(zhì)。氣體流量計(jì)適用于各種氣體，包括特殊氣體和腐蝕性氣體。以腐蝕性氣體為例：腐蝕性氣體通過流量計(jì)的時(shí)候如果流量計(jì)沒有經(jīng)過特殊處理過，會因?yàn)楦g性氣體的特性，造成密封元件等方面的故障，從而影響到了流量計(jì)的正常使用，因此相關(guān)特性的介質(zhì)在選型的時(shí)候需特別關(guān)注密封材料等信息，如全金屬密封，耐氨橡膠等密封材質(zhì)。另外像氫氣、甲烷等可燃性氣體需注意氣體濃度過高所造成的爆點(diǎn)問題等等。

  2.量程范圍（或者稱之為流量范圍）。在流量計(jì)選型的時(shí)候，首先要確定所需流量計(jì)的量程問題，以HORIBAMETRON（堀場匯博?。┕井a(chǎn)品為例：公司產(chǎn)品以氮?dú)猓∟2）來標(biāo)定,如用其他氣體時(shí)需要進(jìn)行換算，非氮?dú)饨橘|(zhì)時(shí)是以氮?dú)馀c該氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)來換算以確定標(biāo)定流量。

  3.壓力范圍。HORIBAMETRON流量計(jì)耐壓3MPa, 壓差范圍為（0.05-0.3）MPa。3MPa以內(nèi)可直接安裝使用；需注意的是有些行業(yè)需要在高壓狀態(tài)下工作，要明確壓力范圍是否滿足。

  4.接口通徑。選擇接口時(shí)需針對管路狀況進(jìn)行選擇，就目前而言以Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，軟管接頭Ф4mm～Ф10mm等為主 。

  5.供電電壓和控制。以HORIBAMETRON流量計(jì)而言，供電電壓有±15V和24V兩種?？刂平涌谟?針和15針的，也有9孔和15孔的。

  6.通信協(xié)議。相對于數(shù)字式流量計(jì)而言很多時(shí)候都會涉及到通信協(xié)議問題，以 MODBUS 、Profibus、DeviceNet為標(biāo)準(zhǔn)，在選擇時(shí)注意協(xié)議類型。備注（某些行業(yè)在選擇流量計(jì)時(shí)模擬控制就可滿足要求）需注意。